Wärmetauscher für Halbleitertechnologie
In der Halbleiterfertigung spielen aggressive und korrosive Medien eine entscheidende Rolle bei verschiedenen Prozessen wie dem chemischen Ätzen, der Reinigung und der Oberflächenbehandlung. Diese Medien, die häufig starke Säuren, Basen und hochreaktive Chemikalien enthalten, ermöglichen eine präzise Musterung und Strukturierung von Halbleitermaterialien. Aufgrund ihrer stark korrosiven Eigenschaften ist die Verwendung von metallischen Wärmetauschern in diesen Prozessen jedoch nicht möglich.
Metallische Wärmetauscher korrodieren, wenn sie aggressiven Chemikalien ausgesetzt sind, was zu einer Verunreinigung der Medien und Endprodukte führt und somit die Produktion gefährdet. Korrosionsnebenprodukte können die Qualität von Halbleitern beeinträchtigen, die Integrität der Anlagen beeinträchtigen und Sicherheitsrisiken darstellen.
Korrosions- und reaktionsbeständigen Materialien für Halbleitertechnologie
CALORPLAST Wärmetauscher sind vollständig aus korrosions- und reaktionsbeständigen Materialien gefertigt. Für alle Prozesse, von der Beheizung und Kühlung von Ätzbädern und Vorlagetanks, bis hin zu Anwendungen in Labors und Qualitätssicherungen, werden unsere Wärmetauscher seit Jahrzehnten eingesetzt. Dabei erlaubt das modulare Konzept von CALORPLAST die Verwendung als Badwärmetauscher, auf Flüssig/Flüssig-Basis oder als Luftkühler. Immer genau auf die jeweiligen Anforderungen abgestimmt.
In der Halbleiterfertigung bieten CALORPLAST Kunststoff-Wärmetauscher eine optimale Lösung für den Umgang mit aggressiven Medien. Sie sind ideal für Prozesse, die den Einsatz korrosionsbeständiger Materialien erfordern, und verhindern Kontaminationen, die die Produktqualität beeinträchtigen könnten. Ihre Anpassungsfähigkeit ermöglicht den Einsatz in verschiedenen Anwendungen, von Ätzbädern bis zur Qualitätssicherung, und stellt eine sichere, effiziente Alternative zu metallischen Wärmetauschern dar. Diese Eigenschaften machen sie zu einer bevorzugten Wahl in der Halbleiterindustrie.
